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- 技術資料
WAT6300是一臺串行高壓半導體參數測試系統，可選配實現垂直型及通用型高壓晶圓級參數測試，可以快速執行精確的高
低壓直流測量、電容測量等。
垂直型測試系統內置一臺低壓低漏電矩陣和一臺單路輸出至CHUCK的垂直型高壓矩陣，系統在高壓3500V使用條件下最多
可擴展24通道輸出，在600V使用條件下最多可擴展48通道輸出，可滿足中高壓多通道的測試需求。通用型測試系統內置一
臺通用高壓開關矩陣，最大可擴展24通道及CHUCK輸出，所有通道輸出電壓均可高達3500V，可用于平面型與垂直型的器
件測試。垂直型與通用型系統均配置高低壓保護電路，提高系統運行穩定性。
